一种基于光栅尺测量微小摩擦力系统
一种基于光栅尺反馈用于精确控制音圈电机往复运动系统
一种基于滚滑复合运动摩擦磨损的控制
一种基于摩擦半径可调的摩擦磨损控制系统
一种基于微小力值测量的旋转往复运动控制系统
定频往复程序
宽频伺服控制
高频往复式摩擦磨损